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스퍼터링 타겟용 In 및 Au 사용저감을 위한 직접 소결공정 기술 개발

상세정보

  • 세부사업명

    글로벌전문기술개발(에너지자원순환)(R&D)

  • 내역사업명

    금속자원회수사용량저감및대체기술개발

  • 과제명(국문)

    스퍼터링 타겟용 In 및 Au 사용저감을 위한 직접 소결공정 기술 개발

  • 과제명(영문)

    Development of In and Au reuse sputtering target using direct sintering process

  • NTIS 과제고유번호

  • IRIS 과제번호

    20115020100080

  • 주관연구개발기관

    엘티메탈 주식회사

  • 공동연구개발기관

    국립안동대학교산학협력단

  • 총 연구개발기간

    2011-11-01 ~ 2014-10-31

  • 당해연도 연구개발기간

    2012-11-01 ~ 2013-10-31

  • 정부지원금(천원)

    450,000

  • 민간현금(천원)

    15,000

  • 민간현물(천원)

    135,000